顆粒物分析儀采用紅外線后方散射光方式，可以進行長期穩定的監測。該儀器對顆粒物濃度具有非常好的相關性，測定范圍廣，當紅外光照射到顆粒物上時，發生光散射現象，此散射光的強度根據顆粒物濃度的變化而變化。顆粒物分析儀就是根據這個原理進行測定的。從傳感系統的先端射出的紅外線光束照射在顆粒物上產生光散射，此散射光通過集光鏡到達傳感器上，傳感器把檢測到的光強度信號轉成電信號，該信號通過放大器和模塊轉換電路，在微機顯示器上顯示出顆粒物的濃度。